高效過濾器的檢漏通常采用PAO發(fā)生器在濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)(photometer)檢測濾器上下游氣溶膠濃度來判定濾器是否有泄漏。發(fā)塵的目的是因高效過濾器上游塵粒濃度較低，僅用粒子計(jì)數(shù)器在不發(fā)塵的情況下檢測，較難發(fā)現(xiàn)有泄漏，需補(bǔ)充發(fā)塵才能明顯、容易地發(fā)現(xiàn)泄漏。PAO發(fā)生器可分為熱發(fā)生和冷發(fā)生兩種，熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的霧狀DOP進(jìn)入風(fēng)道，粒徑分布在0.1～0.3um。冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相DOP氣溶膠，*大分布粒徑在0.65um左右。
DOP檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計(jì)，另一種是粒子計(jì)數(shù)器，高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計(jì)(以下簡稱光度計(jì))，是一種前散射線性光度計(jì)，它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號(hào)處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是：當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時(shí)，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，此信號(hào)經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強(qiáng)度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號(hào)的對(duì)比，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度，因此其用途十分廣泛。而粒子計(jì)數(shù)器，它的測試值反映的是氣流中粒子個(gè)數(shù)的濃度!粒"并規(guī)定粒徑范圍，其靈敏度較高，對(duì)所有塵源氣溶膠適用，選擇余地較大，但在高效過濾器檢漏中較少使用，兩種儀器測試結(jié)果難以定量對(duì)比。
檢漏標(biāo)準(zhǔn)在檢漏結(jié)果的判定上，不同的標(biāo)準(zhǔn)也有所差異。美國IEST-RP-CC034規(guī)定C、.D級(jí)高效過濾器現(xiàn)場檢漏透過率0.3um，光度計(jì)掃描檢漏法)為0.01。歐盟EN1822規(guī)定檢漏測試只要被測過濾器的局部透過率不超過規(guī)定的局部值便為合格，H13級(jí)高效過濾器對(duì)應(yīng)的局部透過率為0.25%，但要注意這里的透過率是以0.3um單分散相DOP測試得出的。我國在“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001及高效空氣過濾器GB13554-92”中關(guān)于已安裝過濾器的泄漏測試，規(guī)定使用大氣塵或其它氣溶膠，采用粒子計(jì)數(shù)器測得泄漏濃度，對(duì)于高效過濾器，穿透率不應(yīng)大于過濾器出廠合格穿透率的2倍。對(duì)于制藥企業(yè)HEPA的檢漏測試，在實(shí)際測試中，若有泄漏，光度計(jì)數(shù)值會(huì)明顯升高，易于判斷，高效過濾器泄漏率標(biāo)準(zhǔn)定為小于等于0.01%并不影響實(shí)際泄漏的檢測。