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反應粒子束刻蝕

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

  • 詳細信息

    主要技術指標:

    RIE源功率:0 - 600 W 刻蝕均勻性:±5% ( 4英寸 ) 裝片:一片4英寸,向下兼容任意規格樣品 刻蝕氣體:SF6,CF4,CHF3,Ar,O2

    主要功能:

    在反應離子刻蝕中,氣體放電產生的等離子體中有大量化學活性的氣體離子,這些離子與材料表面相互作用導致表面原子產生化學反應,生成可揮發產物。這些揮發產物隨真空抽氣系統被排走。隨著材料表層的“反應-剝離-排放”的周期循環,材料被逐層刻蝕到指定深度。除了表面化學反應外,帶能量的離子轟擊材料表面也會使表面原子濺射,產生一定的刻蝕作用。所以,反應離子刻蝕包括物理和化學刻蝕兩者的結合。

  • 服務信息

    服務內容:

    主要用于Si,SiO2,SiNx的刻蝕以及光刻膠的去除等,廣泛應用于物理,生物,化學,材料,電子等領域。

    收費標準:

    600元、小時

    用戶須知:

    培訓后預約收費使用

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