1 范圍

本標準規定了半導體用透明石英玻璃管的術語和定義、分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等。

本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃管(以下簡稱石英玻璃管)。冶金、化學工業用透明石英玻璃管也可參照本標準。

2 規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 3284 石英玻璃化學成分分析方法

GB/T 4121 石英玻璃熱變色性試驗方法

GB/T 5949 透明石英玻璃氣泡、氣線檢驗方法

GB/T 10701 石英玻璃熱穩定性試驗方法

GB/T 12442 石英玻璃中羥基含量檢驗方法

3 術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1 氣泡 bubble

石英玻璃管壁內的圓形、橢圓形空穴。

3.2 破皮氣泡 open bubble

暴露在石英玻璃管內外表面的開口氣泡。

3.3 氣線 airline

石英玻璃管壁內或表面平行于管長方向的線狀、梭狀空穴。

3.4 破皮氣線 open airline

暴露在石英玻璃管內外表面的開口氣線。

3.5 氣泡群 bubble clusters

石英玻璃管壁中，由微小氣泡(小于標準中氣泡的下限尺寸)密集而成的群集氣泡。

3.6 色線 colorline

石英玻璃管上帶有顏色的線條。

3.7 色斑 discoloration

石英玻璃管壁上的帶有顏色的點。

3.8 麻點spot

石英玻璃管壁上的小斑點。

3.9 雜質 impurity

石英玻璃組成中的二氧化硅Si02)以外的組分。

3.10 生料顆粒 batch particle

石英玻璃管中未熔化的石英顆粒。

3.11 透明顆粒 transparent particle

石英玻璃管中的透明石英顆粒。

3.12 波紋 ripple

石英玻璃管的內、外壁表面呈現軸向的波浪形凹凸不平。

3.13 溝棱 striation

石英玻璃管表面在長度方向形成的凹凸不平的溝槽和凸棱。

3.14 揪痕 scratch

排除石英玻璃管壁上外觀缺陷后留下的痕跡。

3.15 暗疤 dark stripe

石英玻璃管壁呈現的一種斜狀、透明、有明顯界面的玻璃態(俗稱雪花，破皮和梅花)。

3.16 炸裂 thermal crack

石英玻璃管經急冷急熱而產生的裂紋或破裂。

3.17 崩落 flake off

石英玻璃管表面呈貝殼狀的破損。

3.18 晶紋 regular microcrack

石英玻璃管中呈“人”字或“一”字形的微小裂紋。

3.19 析晶 devitrification

石英玻璃管析出晶體造成的失透。

3.20 桔皮 orange peel

石英玻璃管外觀呈現的象桔子皮似的缺陷。

3.21 云霧 vapor

石英玻璃管表壁上附著的白色不透明二氧化硅(Si02)揮發物。

3.22 橢圓度 ovality

石英玻璃管同一橫截面上*大、*小直徑之差除以公稱直徑，以百分數表示。

3.23 偏壁度 siding

石英玻璃管同一橫截面上*大、*小壁厚之差除以公稱壁厚，以百分數表示。

3.24 彎曲度 bow

石英玻璃管在長度方向的平直程度。

4 分類和標記

4.1 分類

按用途分為太陽能級透明石英玻璃管(T級)和電子級透明石英玻璃管(級)。

4.2 標記

產品按分類(或D)、產品名稱、產品規格、生產批號和標準編號的順序標記。

示例:符合J/T597-2011，外徑為200m，長度為1000m，生產批號為20090710的太陽能級透明石英玻璃管標記為：

T石英玻璃管-200×1000-20090710-Jc/T597-2011

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