作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-12-06 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)
掃描電鏡原理
依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。樣品表面加一個(gè)強(qiáng)電場(chǎng),樣品表面勢(shì)壘降低,由于隧道效應(yīng),樣品金屬內(nèi)部的電子穿過(guò)勢(shì)壘從金屬表面發(fā)射出來(lái),這種現(xiàn)象稱(chēng)場(chǎng)發(fā)射。亮度高約比普通SEM高100倍,分辨率可達(dá)10nm.
儀器技術(shù)參數(shù)
二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV,減速模式)
放大倍率: x 20~ x 800,000
電子槍: 冷場(chǎng)發(fā)射電子源
送樣要求
應(yīng)用領(lǐng)域
1.金屬、非金屬及復(fù)合材料的觀察分析;
2.納米粉及納米粉體的形貌觀察和粒度測(cè)量統(tǒng)計(jì);
3.微區(qū)成分的定性、定量計(jì)算,并對(duì)重點(diǎn)區(qū)域做元素分布圖;
4.可對(duì)固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行結(jié)合情況觀察和厚度測(cè)量;
5.機(jī)械設(shè)備、壓力容器、管道及汽車(chē)零件的失效分析。
適用標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 16594-2008微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則
GB/T 17362-2008 黃金制品的掃描電鏡X射線(xiàn)能譜分析方法
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