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GB/T 16523-1996 圓形石英玻璃光掩模基板規范

作者：百檢網 時間：2022-10-19

標準簡介

本標準規定了圓形石英玻璃光掩?；宓募夹g要求、試驗方法等內容。本標準適用于圓形石英玻璃光掩模基板。
英文名稱：Specification for round quartz photomask substrates
標準狀態：現行
中標分類：電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結構件>>L90電子技術專用材料
ICS分類：電子學>>31.200集成電路、微電子學
發布部門：國家技術監督局
發布日期：1996-09-09
實施日期：1997-05-01
出版日期：2004-04-10
頁數：平裝16開， 頁數：10， 字數：15千字

前言

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