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GB/T 12963-1996 硅多晶

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-19

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅多晶的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以三氯氫硅或四氯化硅用氫還原法制得的半導(dǎo)體級硅多晶。產(chǎn)品主要用于制備硅單晶。
英文名稱：Polycrystalline silicon
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
替代情況：替代GB 12963-1991;被GB/T 12963-2009代替
中標(biāo)分類：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料
ICS分類：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：1996-01-01
實施日期：1997-04-01
作廢日期：2010-06-01
出版日期：1997-04-01
頁數(shù)：平裝16開， 頁數(shù)：6， 字數(shù)：6千字

前言

元素半導(dǎo)體材料相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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