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產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 16596-1996 確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-19

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用晶片中心作為*坐標(biāo)或直角坐標(biāo)的原點(diǎn)，可用于確定晶片上任意一點(diǎn)位置的晶片坐標(biāo)系。
英文名稱：Specification for establishing a wafer coordinate system
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
替代情況：被GB/T 16596-2019代替
中標(biāo)分類：冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法
ICS分類：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：1996-01-01
實(shí)施日期：1997-04-01
作廢日期：2020-02-01
出版日期：1997-04-01
頁數(shù)：平裝16開，頁數(shù)：6，字?jǐn)?shù)：6千字

前言

金屬物理性能試驗(yàn)方法相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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