GB/T 16943-2009 電子工業用氣體 氦
作者：百檢網 時間：2022-10-19
標準簡介
本標準規定了氦的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態和液態氦,以及經純化方法得到的氦。它們在半導體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護氣等。英文名稱：Gas for electronic industry—Helium
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 16943-1997
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁數：12頁
前言
本標準代替GB/T16943-1997《電子工業用氣體 氦》。本標準與GB/T16943-1997相比主要變化如下:---修改氦的適用范圍(GB/T16943-1997的第1章,本版的第1章);---修改規范性引用文件(GB/T16943-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容:增加一類產品純度和雜質含量(GB/T16943-1997 的第3 章,本版的第3章);---修改瓶裝氦抽樣方法(GB/T16943-1997的4.1,本版的4.1.1);---增加集裝閣裝、大容積鋼質無縫氣瓶裝和杜瓦罐裝氦產品并規定檢驗方法(見4.1.1);---增加管道輸送的氦產品并規定檢驗方法(見4.1.2);---增加氦的采樣安全要求(見4.1.3);---增加新的分析方法:增加用氦放電離子化氣相色譜法測定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳組分;增加其他方法測定總烴含量;當出現多種分析方法時,增加規定仲裁方法(見4.3);---修改水分的測定方法(GB/T16945-1997的4.5,本版的4.5);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16943-1997的第5章,本版的第5章);---增加安全要求(見5.6);---增加規范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標準的附錄A 為規范性附錄。本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。本標準起草單位:西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業有限公司、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:劉澤軍、付永成、趙俊秀、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:---GB/T16943-1997。相關標準
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