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GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-19

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體硅拋光片和外延片表面常見缺陷的光反射無損檢驗方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體硅拋光片和外延片表面質(zhì)量的無損檢驗。本標(biāo)準(zhǔn)的檢驗結(jié)果與GB/T 6624、GB/T 14142的檢驗結(jié)果一致。
英文名稱：Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
中標(biāo)分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H24金相檢驗方法
ICS分類：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：1997-01-02
實施日期：1998-08-01
作廢日期：2005-10-14
出版日期：2004-04-12
頁數(shù)：平裝16開，頁數(shù)：10，字?jǐn)?shù)：15千字

前言

金相檢驗方法相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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CAN/CSA-C360-03+ Update 1:2005 CAN/CSA-C360-2013

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廢液成分分析報告測試項目標(biāo)準(zhǔn)

廢液成分分析范圍磷化廢液、化工廢液、有機廢液、味精廢液、鉆井廢液、加工廢液等。廢液成分分析項目化學(xué)成分、材料成分、溶質(zhì)成分等。廢液成分分析報告作用1、進行銷售。(有了第三方檢測報告，能讓自己的產(chǎn)品在銷售方面體現(xiàn)出一定的優(yōu)勢性)2、進行產(chǎn)品質(zhì)量改善使用。(通過檢測報告數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)自身產(chǎn)品問題所在，提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本)3、進行產(chǎn)品的質(zhì)控使用。4、

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