GB/T 17865-1999 焦深與最佳聚焦的測量規范
作者：百檢網 時間：2022-10-20
標準簡介
本標準只涉及集成電路生產中所用的光刻技術及其關系密切的技術的聚集與焦深測量問題。由于設備技術多種多樣，因而不可能提出這些參數的明確測量方法。本標準只提供基本準則。英文名稱：Specification for measuring depth of focus and best focus
標準狀態：現行
中標分類：電子元器件與信息技術>>微電路>>L56半導體集成電路
ICS分類：電子學>>31.200集成電路、微電子學
發布部門：國家質量技術監督局
發布日期：1999-09-01
實施日期：2000-06-01
出版日期：2004-08-22
頁數：7頁
前言
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