標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧,以及經(jīng)純化方法得到的氧。它們主要用于二 氧化硅化學(xué)氣相淀積,用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應(yīng)劑,用于等離子體蝕刻和剝離、光導(dǎo)纖維。
英文名稱：Gas for electronic industry—Oxygen
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 14604-1993
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-05-01
出版日期：2009-12-01
頁數(shù)：12頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14604-1993《電子工業(yè)用氣體 氧》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14604-1993相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氧的適用范圍(GB/T14604-1993的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14604-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14604-1993的第3章,本版的第3章);---修改瓶裝電子工業(yè)用氧采樣要求(GB/T14604-1993的4.1,本版的4.1.3);---修改瓶裝電子工業(yè)用氧抽樣方法(GB/T14604-1993的第5章,本版的4.1.1、4.1.2、4.1.4);---修改氫、氬、氮、氪、一氧化碳、二氧化碳、氧化亞氮、總烴和水含量的分析方法和標(biāo)準(zhǔn)樣品的規(guī)定,當(dāng)出現(xiàn)多種分析方法時,規(guī)定仲裁方法(GB/T14604-1993 的4.3、4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.3、4.4、4.6、4.7、4.8);---增加一氧化氮含量的分析方法(本版的4.5);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T14604-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---刪去GB/T14604-1993的附錄A 和附錄B;---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氧中的氫、氬、氮和氪組分的方法寫入該附錄(見附錄A);---增加規(guī)范性附錄B,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氧中的一氧化碳、二氧化碳和氧化亞氮組分的方法寫入該附錄(見附錄B)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14604-1993。