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GB/T 26069-2010 硅退火片規(guī)范

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-22

標(biāo)準簡介

本標(biāo)準規(guī)定了半導(dǎo)體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等。本標(biāo)準適用于線寬180nm、130nm 和90nm 工藝退火硅片。
英文名稱：Specification for silicon annealed wafers
標(biāo)準狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：被GB/T 26069-2022代替
中標(biāo)分類：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
ICS分類：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2011-01-10
實施日期：2011-10-01
作廢日期：2022-10-01 ?即將作廢 距離作廢日期還有16天
出版日期：2011-10-01
頁數(shù)：12頁

前言

本標(biāo)準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)負責(zé)歸口。本標(biāo)準起草單位:萬向硅峰電子股份有限公司、有研半導(dǎo)體材料股份公司、寧波立立電子股份有限公司和杭州海納半導(dǎo)體有限公司共同負責(zé)起草。本標(biāo)準主要起草人:樓春蘭、孫燕、朱興萍、宮龍飛、王飛堯、黃笑容、方強、汪成生、程國慶。

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