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GB/T 34091-2017 電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-24

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用六氟乙烷的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法、包裝、標(biāo)志、貯存、運(yùn)輸和安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)用六氟乙烷經(jīng)精制提純而得的高純六氟乙烷產(chǎn)品。主要在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或作為電子器元件清洗劑。
英文名稱：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
發(fā)布日期：2017-07-31
實(shí)施日期：2017-11-01
出版日期：2017-07-01
頁數(shù)：12頁

前言

工業(yè)氣體與化學(xué)氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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