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YS/T 839-2012 硅襯底上絕緣體薄膜厚度及折射率的橢圓偏振測試方法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-29

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本方法規(guī)定了用橢圓偏振測試方法測量生長或沉積在硅襯底上的絕緣體薄膜厚度及折射率的方法。本方法適用于薄膜對測試波長沒有吸收和襯底對測試波長處不透光、且已知測試波長處襯底折射率和消光系數(shù)的絕緣體薄膜厚度及折射率的測量。對于非絕緣體薄膜，滿足一定條件時,方可采用本方法。
英文名稱：Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：冶金>>有色金屬及其合金產(chǎn)品>>H68貴金屬及其合金
ICS分類：冶金>>有色金屬>>77.120.99其他有色金屬及其合金
發(fā)布部門：工業(yè)和信息化部
發(fā)布日期：2012-11-07
實施日期：2013-03-01
出版日期：2013-03-01
頁數(shù)：12頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC243)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國計量科學(xué)研究院、有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:高英、武斌、孫燕、徐繼平、徐自亮、黃黎。

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