JB/T 5631-1991 半導(dǎo)體器件外延爐 能耗標(biāo)準(zhǔn)
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-11-01
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件外延爐（以下簡(jiǎn)稱(chēng)外延爐）能耗分等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)企業(yè)外延爐。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：公告：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部公告 2017年(第23號(hào))
中標(biāo)分類(lèi)：機(jī)械>>機(jī)械綜合>>J01技術(shù)管理
發(fā)布部門(mén)：機(jī)械電子工業(yè)部
發(fā)布日期：1991-08-27
實(shí)施日期：1992-07-01
作廢日期：2017-05-12
出版日期：1992-07-01
頁(yè)數(shù)：4頁(yè)
前言
技術(shù)管理相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
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