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XPS測試_XPS檢測_X射線光電子能譜_服務

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檢測原理


X射線光電子能譜(XPS),基于光電離作用,當一束光子輻射到樣品表面時,光子可以被樣品中某一元素的原子軌道上的電子所吸收,使該原子解脫原子核的束縛,以一定的動能從原子內部發射出來,變成自由的光電子,而原子本身則變成一個激發態的離子。當固定激發源能量時,其光電子的能量僅與元素的種類和所電離激發的原子軌道有關,由此根據光電子的結合能定性分析物質的元素種類。經X射線輻照后,從樣品表面射出的光電子的強度與樣品中該原子的濃度呈線性關系,可以進一步進行元素的半定量分析。另外,XPS的重要應用是對元素的化學價態進行分析。

儀器技術參數


離子源:100-4000eV

束斑直徑:1-10mm

濺射速率范圍:0.1-50nm/min

采樣深度:金屬0.5-2nm,無機物1-3nm,有機物3-10nm

送樣要求


固體粉末:均勻干燥,粒度小于70um(過200目),質量不少于100 mg;

塊體、金屬及薄膜樣,長寬小于10mm,高度小于5mm。

對含有揮發性、油污污染物的樣品許提前去除,**禁止分析帶有磁性的樣品。

應用

在化學、材料科學及表面科學中具有廣泛的應用價值。

1、 表面元素定性分析

2、 表面元素的半定量分析

3、 表面元素的化學價態分析

4、 元素沿深度方向的分布分析

常見譜圖


常見適用標準

ISO 152 0173 3840-2013 表面化學分析.深度剖析.原子發射光譜(AES)和光電子能譜(XPS)中深度剖析用電流或電流密度的離子束校正和相關測量方法

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