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電子束蒸發(fā)鍍膜及多弧鍍膜聯(lián)合設(shè)備

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-11-11 來源:互聯(lián)網(wǎng)

主要規(guī)格及技術(shù)指標

真空系統(tǒng):TRP-36機械泵+FF160-620C分子泵;ZDF-5227數(shù)顯復合真空計及金屬規(guī)管;GD-J8手動充氣閥; 電子束蒸發(fā)鍍膜室:Φ450×500 mm空間立式全不銹鋼結(jié)構(gòu);樣品公轉(zhuǎn)速度0~60RPM;樣品尺寸Φ70;樣品加熱溫度700℃±1℃;溫度PID可編程控;真空室上蓋電動升降; 電子束沉積薄膜制備系統(tǒng):電動4點定位4工位電子束蒸發(fā)坩堝,每個坩堝容量大于20ml,功率*大10KW;設(shè)有氣動蒸發(fā)源擋板一套;設(shè)有離子轟擊電*及電源一套; 電子束沉積薄膜制備系統(tǒng)真空室配有2只Dg6手動氣路截止閥,設(shè)有1路高精度質(zhì)量流量控制器,流量0~50 SCCM; 多弧離子鍍膜室:Φ450×500 mm空間立式全不銹鋼結(jié)構(gòu);樣品公轉(zhuǎn)速度0~60RPM;樣品尺寸Φ70;樣品加熱溫度700℃±1℃;溫度PID可編程控;真空室上蓋電動升降; 多弧離子鍍膜室與電子束蒸發(fā)鍍膜室共用一套分子泵系統(tǒng),各室與真空獲得系統(tǒng)之間設(shè)有手動閘板閥。

主要功能及特色

用于電子束涂層/多弧離子鍍涂層制備

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