標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 38446-2020
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2020-03-06; 實(shí)施于2020-10-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2020-03-06
實(shí)施日期：2020-10-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.200
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.200
歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：北京大學(xué);北京智芯傳感科技有限公司;中北大學(xué);中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心;無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司;北京必創(chuàng)科技股份有限公司
相近標(biāo)準(zhǔn)：20171124-T-469 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法; 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 薄膜張力特性條帶彎曲試驗(yàn)方法; GB/T 38447-2020 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法; 20171123-T-469 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法; GB/T 26111-2010 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語(yǔ); 20200872-T-469 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語(yǔ); 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語(yǔ); 20075896-T-469 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語(yǔ); GB/T 38341-2019 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗(yàn)方法; 20171125-T-469 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗(yàn)方法