GB/T 14851-1993 電子工業用氣體 磷化氫 被代替
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：電子工業用氣體 磷化氫
英文標準名稱：Gas for electronic industry--Phosphine
標準狀態：被代替,發布于1993-12-30; 實施于1994-10-01; 被代替于2010-05-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：1993-12-30
實施日期：1994-10-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：化工部光明化工研究所
被以下標準代替：被GB/T14851-2009GB/T14851-2009全部代替
采標情況：本標準非等效采用ITU國際標準：SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988。
采標中文名稱:。
相近標準：GB/T 14851-2009 電子工業用氣體 磷化氫; 20062982-T-469 電子工業用氣體 磷化氫; 電子工業用氣體 磷化氫; GB/T 26249-2010 電子工業用氣體 硒化氫; GB/T 26250-2010 電子工業用氣體 砷化氫; 20081120-T-469 電子工業用氣體 砷化氫; 20081121-T-469 電子工業用氣體 硒化氫; GB/T 14602-2014 電子工業用氣體 氯化氫; 20111285-T-469 電子工業用氣體 氯化氫; GB/T 14602-1993 電子工業用氣體 氯化氫
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