20200854-T-469 電子特氣 三氟化氮 正在批準
作者：百檢網 時間：2021-08-05
中文標準名稱：電子特氣 三氟化氮
英文標準名稱：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
標準狀態：正在批準
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：中船重工（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：昊華氣體有限公司
起草人：付夢月
相近標準：GB/T 21287-2007 ?電子工業用氣體 三氟化氮; ?電子工業用氣體 三氟化氮;20051092-T-469 ?電子工
標準制修訂：修訂
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