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GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氫硅化學分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定電感耦合等離子體質譜法

作者：百檢網時間：2022-10-24

標準簡介

本標準規定了用電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)測定硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等痕量元素含量的方法。本標準適用于硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等含量的測定。
英文名稱：Trichlorosilane for silicon epitaxy—Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content—Inductively coupled plasma mass spectrometric method
標準狀態：現行
中標分類：電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結構件>>L90電子技術專用材料
ICS分類：31.030
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2012-12-31
實施日期：2013-10-01
出版日期：2013-10-01
頁數：12頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標準起草單位:南京中鍺科技股份有限公司、南京大學現代分析中心、南京大學國家863計劃新材料MO 源研究開發中心。本標準主要起草人:鄭華榮、劉新軍、龔磊榮、張莉萍、黃和明、陳逸君、虞磊。

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