GB/T 29504-2013 300mm 硅單晶
作者：百檢網 時間：2022-10-24
標準簡介
本標準規定了直徑300mm、p型、<100>晶向、電阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 硅單晶的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。本標準適用于由直拉法制備的硅單晶,主要用于制作滿足集成電路IC用線寬0.13μm 及以下技術需求的300mm 硅單晶拋光片。英文名稱：300 mm monocrystalline silicon
標準狀態：現行
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2013-05-09
實施日期：2014-02-01
出版日期：2014-02-01
頁數：8頁
前言
本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標準起草單位:有研半導體材料股份有限公司、中國有色金屬工業標準計量質量研究所、萬向硅峰電子股份有限公司、寧波立立電子股份有限公司。本標準主要起草人:閆志瑞、孫燕、盧立延、張果虎、樓春蘭、劉培東、向磊。相關標準
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