作者:宋檢 時間:2022-11-01 來源:互聯網
內真空抽氣系統為等子體放電提供必要的清潔的真空條件。抽氣系統是在等離子體放電前提供盡可能好的本底真空,以滿足等離子體對純凈環境的要求,放電時抽氣系統具有很強的雜質抑制能力,從而提高放電參數,在**壁處理過程中(泰勒放電,輝光放電,感應烘烤和離子回旋放電清洗)氣壓較高時也具有大抽速以便抽除水蒸汽和雜質氣體。
總壓測量復蓋從大氣,粗真空、低真空、中真空、高真空到超高真空的廣泛量程,(QMS)分壓強應能隨時測量,特別是等離子體放電過程中的分壓強實時測量。
測量輸出應能計算機數據采集處理。主真空室和它的附屬件(限制器,**壁復蓋物,波天線)應能長時間原位烘烤到200℃,烘烤只能去除象H2O,N2,CO2 這些物理吸附雜質,還需進一步用輝光放電等鍛煉清洗以便去除化學吸附的輕雜質,象C,O 等。環形內真空室是金屬焊接結構,材料應有好的焊接特性,高強度、耐熱沖擊。
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