1 范圍

本標準規(guī)定了采用超聲顯微鏡對材料或構件進行無損檢測的方法。

本標準適用于檢測各類金屬和非金屬固體材料以及電子封裝的內部納米或微米級缺陷的檢測。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文僅注期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 9445 無損檢測 人員資格鑒定與認證

GB/T 12604.1 無損檢測 術語 超聲檢測

GB/T 20737 無損檢測 通用術語和定義

GB/T 23912 無損檢測 液浸式超聲縱波脈沖反檢測方法

3 術語和定義

GB/T 12604.1和GB 20737 界定的術語和定義適用于本文件。

4 人員資格

按照本標準實施檢測的人員，應按GB/T 9445 或合同各方同意的體系進行資格鑒定與認證，并由雇主或其代理對其進行崗位培訓和操作授權。

5 方法概要

超聲顯微檢測方法如圖1所示，該方法使用的超聲波頻率高，分辨力高，易于檢測出材料或構件從表層到內部范圍內存在的納米或微米尺度的缺陷。超聲顯微檢測方法采用脈沖反射原理進行檢測，使用同一個聚焦換能器做發(fā)射器和接收器，采集某—特定深度(Z)掃查平面內的超聲數據并進行C掃描顯示，C掃描顯示是掃査平面內各個點超聲反射信號的幅值、相位或頻譜的圖像，C掃描顯示模式可以得到由某一特定深度(Z)被測面的超聲回波所形成的二維(平面)聲學圖像。

通常，反射式超聲顯微鏡由聚焦高頻超聲換能器、脈沖發(fā)射/接收裝置、超高速數據采集器、機械掃描裝置等部分組成，如圖2所示。超聲顯微鏡工作時，計算機通過機械掃描平臺控制換能器相對試樣進行平面掃査運動，實現x-y水平面二維掃描，脈沖收/發(fā)裝置產生激勵信號，激勵壓電換能器產生高頻超聲波，聲波傳播到被檢試樣表面或內部，在試樣界面或內部的聲特性不連續(xù)處產生反射。反射波被壓電換能器接收并轉換為電信號，回波信號經限幅、放大電路調理后送至數據采集器，轉換為數字信號，然后進行數字處理，通過綜合掃査位置數據和相應的回波信號特征數據，在計算機上顯示試樣的超聲顯微檢測圖像。

6 檢測系統(tǒng)

6.1 超聲顯微鏡

超聲顯微鏡的功能和特性應滿足如下要求:

a) 換能器中心頻率范圍在20MHz~2GHz之間；

b) 脈沖發(fā)射/接收裝置要具有用高壓電脈沖激勵高頻換能器的功能，具有接受處理高頻換能器輸出的微小電脈沖信號的功能,接收增益與衰減可調；

c) 高速數據采集卡的采樣頻率至少要達到換能器中心頻率的5倍以上；

d) 機械掃描裝置的定位誤差應小于20μm。

6.2 耦合劑

宜選用脫氧水(或蒸餾水等)作為耦合劑。

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下載地址：《GB/T 34018-2017 無損檢測 超聲顯微檢測方法》